剥離/リフトオフ装置

酸系、アルカリ系、有機溶剤系と各種薬液を用いた枚葉スピン剥離装置です。
小径サイズから□700mm対応の大型装置までラインナップしています。
チャック交換によりウェハ／マスクの切り替えやサイズ切替が簡単に行えます。

レジスト剥離、各種メタルリフトオフ用などお客様のご要望に応じて設計可能です。