エッチング装置

スプレーエッチングやパドルエッチング（酸／アルカリ対応）
小径サイズから□700mm対応の大型装置までラインナップしています。
チャック交換によりウェハ／マスクの切り替えやサイズ切替が簡単に行えます。

各種メタルエッチング、Siエッチング、化合物基板エッチングなど
お客様のご要望に応じて設計可能です。