塗布装置
Coating
研究開発用途から生産用途、大型基板対応モデルまでラインナップしています。少量多品種に特化したディスペンス機構を採用し、材料の交換も簡単に行えます。自動搬送モデルではベークユニットやクールプレート、コーター前処理（ウェット/ドライ）の洗浄装置や現像装置との組み合わせも可能。
KRC-150／200／300
Kシリーズ
進化する次世代ウェットプロセス装置
洗浄、塗布、現像、エッチング、剥離と全てのウェットプロセスをラインナップ当社のスタンダードモデルです。
WRCD-A200
コータデベロッパ―
コーターとデベロッパーのオールインワンモデル
HMDS・塗布・プリベーク・現像・ポストベークとこれ一台で全て行えます。
WRC-700
大型コータ
□700㎜まで対応可能な角型基板塗布装置
回転カップ構造により、角型基板をフリンジフリーでレジストを塗布出来ます。
WSCR-A200E
ドライ＆ウェット
表面改質機能付きレジスト塗布装置
塗布前洗浄とエキシマＵＶによる表面改質によりレジストの塗布性能を向上させます。
