デモ・設備紹介


Demonstration

工場内にクリーンルームと純水供給ユニット、排気スクラバー、 ウエットプロセスのデモ評価・実験用のスピンプロセッサー、スピンコーター及び MAX□600mmの基板まで対応可能なインナーカップ方式のスピンコーターを保有。 塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスをケミカルや純水を用いてテスト可能です。

保有設備

テスト機①、② 枚葉スピンプロセッサー

テスト機③ 多目的スピンコーター

検査ツール

トプコン製 ウエハ用異物検査装置  WM-3 φ4″,φ6″対応 

・ニコン製 1000倍顕微鏡
・40万lux 集光ランプ

フィルメトリクス製 膜厚計 F20

両面スクラブ装置

テスト機④ 大型スピンコーター □600mm基板対応

□600mm用 ホットプレート

クリーンルーム※グレーチングエリアはおよそCLASS100
超純水装置 オルガノ製 (比抵抗値 17MΩ  10L/min)
テスト機① 枚葉スピンプロセッサー(酸・アルカリ用)  KP-300
機 能 ブラシスクラブ
メガソニックノズル(1MHz)
2流体ジェットノズル(純水+N2)
ケミカルノズル
リンスノズル(表裏面)
チャック ピン方式/バキューム方式/ベルヌーイチャック方式
対応基板 φ2”~φ12”  □3”~□9”
その他特殊サイズも可
テスト機② 枚葉スピンプロセッサー(有機溶剤用)KP-300S
機 能 高圧ジェットノズル(3~15MPa)
ケミカルノズル(MAX 80℃)
リンスノズル(表裏面)
チャック ピン方式/バキューム方式/ベルヌーイチャック方式
対応基板 φ2”~φ12”  □3”~□9”
その他特殊サイズも可
テスト機③  スピンコーター KRC-300
機 能 シリンジ塗布ノズル
エッジリンス
バックリンス
チャック バキューム方式/裏面外周保持式/インナーカップ方式
対応基板 φ2”~φ12”  □3”~□9”
その他特殊サイズも可
現像液、エッチング液 恒温化ユニット  1台
廃液回収設備有り
排気スクラバー 2機

デモ可能プロセス一例

プロセス 種類 テストツール
ブラシスクラブ ストレート 1流体スプレー 2流体スプレー メガソニック 高圧ジェット
洗浄 酸系 - -
アルカリ系
有機溶剤系 - -
現像  アルカリ系 - -
有機溶剤系 - - -
エッチング  酸系 - - -
アルカリ系 - -
剥離
リフトオフ
酸系 - -
アルカリ系
有機溶剤系 - -
塗布 レジスト ディスペンスノズルもしくはシリンジで塗布
各種樹脂材料

※その他の薬液、プロセスご相談下さい。

スピン方式の特徴

従来のディップ式とは異なり、省薬液,省スペースのメリットがあります。
その他、種々の物理化学的な処理方式が選択可能であり、
また、遠心力による溶解汚染物/粒子の除去効率の向上等があります。
スピン方式をご検討の際には是非、弊社デモをご活用下さい。 

詳しいお問い合わせ先

046-270-7373