事業内容 製品案内
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Products
半導体前工程・FPD・MEMSなどで使用する
フォトリソ関連の各種ウェット処理プロセス装置を設計・製作しております。
その他、カスタマイズされた装置の設計・製作もご相談ください。
新製品
拡張型 枚葉式スピンナー
通称Kシリーズ。デモ機のご用意もございます。処理アーム（スイング機構付）は最大2本装備可能。※組合せは自由に選択出来ます
CE-A150
コンパクト自動スピンエッチャー
薬液インラインミックス機能搭載。
ロボットを標準搭載した少量多品種向け生産機。
