デモ・設備紹介
Demonstration
工場内にクリーンルームと純水供給ユニット、排気スクラバー、 ウエットプロセスのデモ評価・実験用のスピンプロセッサー、スピンコーター及び MAX□600mmの基板まで対応可能なインナーカップ方式のスピンコーターを保有。 塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスをケミカルや純水を用いてテスト可能です。
保有設備
テスト機①、② 枚葉スピンプロセッサー
テスト機③ 多目的スピンコーター
検査ツール
トプコン製 ウエハ用異物検査装置 WM-3 φ4″，φ6″対応
・ニコン製 1000倍顕微鏡
・40万lux 集光ランプ
フィルメトリクス製 膜厚計 F20
両面スクラブ装置
| クリーンルーム※グレーチングエリアはおよそCLASS100 | |
|---|---|
| 超純水装置 オルガノ製 （比抵抗値 17MΩ 10Ｌ／ｍｉｎ） | |
| テスト機① 枚葉スピンプロセッサー（酸・アルカリ用） KP-300 | |
| 機 能 | ブラシスクラブ メガソニックノズル（1MＨｚ） 2流体ジェットノズル（純水＋N2） ケミカルノズル リンスノズル（表裏面） |
| チャック | ピン方式／バキューム方式／ベルヌーイチャック方式 |
| 対応基板 | φ2”～φ12” □3”～□9” その他特殊サイズも可 |
| テスト機② 枚葉スピンプロセッサー（有機溶剤用）KP-300S | |
|---|---|
| 機 能 | 高圧ジェットノズル（3～15MPa） ケミカルノズル（MAX 80℃） リンスノズル（表裏面） |
| チャック | ピン方式／バキューム方式／ベルヌーイチャック方式 |
| 対応基板 | φ2”～φ12” □3”～□9” その他特殊サイズも可 |
| テスト機③ スピンコーター KRC-300 | |
|---|---|
| 機 能 | シリンジ塗布ノズル エッジリンス バックリンス |
| チャック | バキューム方式／裏面外周保持式／インナーカップ方式 |
| 対応基板 | φ2”～φ12” □3”～□9” その他特殊サイズも可 |
| 現像液、エッチング液 恒温化ユニット 1台 | |
|---|---|
| 廃液回収設備有り | |
| 排気スクラバー 2機 |
デモ可能プロセス一例
| プロセス | 種類 | テストツール | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ブラシスクラブ | ストレート | 1流体スプレー | 2流体スプレー | メガソニック | 高圧ジェット | ||||||
| 洗浄 | 酸系 | ○ | ○ | ○ | ○ | - | - | ||||
| アルカリ系 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||
| 有機溶剤系 | - | ○ | ○ | - | △ | ○ | |||||
| 現像 | アルカリ系 | - | ○ | ○ | ○ | △ | - | ||||
| 有機溶剤系 | - | ○ | ○ | - | △ | - | |||||
| エッチング | 酸系 | - | ○ | ○ | ○ | - | - | ||||
| アルカリ系 | - | ○ | ○ | ○ | ○ | - | |||||
| 剥離 リフトオフ |
酸系 | ○ | ○ | ○ | ○ | - | - | ||||
| アルカリ系 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||
| 有機溶剤系 | - | ○ | ○ | - | △ | ○ | |||||
| 塗布 | レジスト | ディスペンスノズルもしくはシリンジで塗布 | |||||||||
| 各種樹脂材料 | |||||||||||
※その他の薬液、プロセスご相談下さい。
スピン方式の特徴
従来のディップ式とは異なり、省薬液,省スペースのメリットがあります。
その他、種々の物理化学的な処理方式が選択可能であり、
また、遠心力による溶解汚染物/粒子の除去効率の向上等があります。
スピン方式をご検討の際には是非、弊社デモをご活用下さい。
