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エッチャントリサイクル機能付新製品
Siエッチング装置
 上下2段チャンバー   

<基本コンセプト>

○ CtoCの自動スピンウェットエッチング装置です。

○ コンパクト設計で省フットプリントです。
   1750W×1500D×2500H 

外観図

○ 上下2段式チャンバー構造です。
   上段:酸化膜エッチング、純水リンス、スピン乾燥
   下段:Siエッチング (リサイクル可能)
  独自のシール構造によりリンスと混じらずにエッチャントをリサイクルできます。
  ウエハ外周5mm以内を保持し、片面を保護した状態でウェットエッチングが可能です。
  ベルヌーイ方式との併用で薄ウエハにも対応しております。

○ 終点検出器によりエッチング量を自動制御可能です。(オプション)

○ 薬液の自動調合機能付です。

○ レシピは100ステップ60種類保存可能です。
   回転数、加速・減速時間、処理時間など
   タッチパネルの数値入力で簡単に設定出来ます。

○ 面内バラつき±1%以内を達成可能です。

○ チャック交換によりワークサイズ簡単切替

○  エッチャントの温調機能付です。

○ チャンバークリーニング
  チャンバーは簡単にバラせる構造です。



弊社工場でデモ可能でございます。
各種材料をお持ち込み頂いてのテスト評価に是非ご利用下さい。

     スピンエッチャー外観



上下2段式チャンバー
ロボットはベルヌーイハンドを使用し、
薄ウエハをチッピング無く搬送出来ます。



オプション

 薬液リサイクル対応のメタルエッチング装置も製作可能です。
 その他、各種洗浄機能を付加することも可能です。



  その他、是非ご相談ください

 




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 FAX  046-270-7778

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