半導体製造用／塗布装置

洗浄　　　　塗布　　　　現像　　　　エッチング　　　　剥離　　　　リフトオフ　　　その他

自動スピンコーター WRC-A200
◆　概要／特徴 レジストコート、ベーク／クール処理を行う 自動スピンコーターです。
◆　装置寸法 2000W×2000D×1820H
◆　ワークサイズ ウェハー　φ4″〜φ8″ マスク　　 □4″〜□6″
◆　オプション ULPA（HEPA）クリーンベンチ 極薄ウェハー対応チャック HMDS