株式会社カナメックス

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半導体製造用/塗布装置
   洗浄    塗布    現像    エッチング    剥離    リフトオフ   その他    



自動スピンコーター
WRC-A200

自動コーターベーク


◆ 概要/特徴
レジストコート、ベーク/クール処理を行う
自動スピンコーターです。


◆ 装置寸法
2000W×2000D×1820H

◆ ワークサイズ
ウェハー φ4″〜φ8″
マスク   □4″〜□6″


◆ オプション
ULPA(HEPA)クリーンベンチ
極薄ウェハー対応チャック
HMDS