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NMPリサイクル機能付新製品
枚葉スピン自動リフトオフ装置
 3チャンバー   

<基本コンセプト>

○ CtoCの自動スピンリフトオフ装置です。 

○ コンパクト設計で省フットプリントです。
   1700W×1520D×2000H 

リフトオフ装置外観図

○ スループット重視の3チャンバー構成です。
   チャンバーA,B:レジスト剥離、メタル剥離(バリ取り)
   チャンバーC:リンス、スピン乾燥
  NMPのかけ流しにより、レジストを剥離し、高圧JETノズルでメタルのリフトオフを行います。
  ウエハの保持は通常のバキューム式の他、ウエハ外周保持式も可能で、
  両面パターニングされた基板にも対応可能です。


○ 高圧ノズルの先端を交換する事で、様々な種類のノズルを取付け出来ます。

○ NMP循環リサイクル+メタル回収機能付きです。

○ レシピは100ステップ60種類保存可能です。
   回転数、加速・減速時間、処理時間など
   タッチパネルの数値入力で簡単に設定出来ます。

○ チャンバーの交換などメンテナンスが容易な設計です。

○ チャック交換によりワークサイズも簡単切替が出来ます。


弊社工場でデモ可能でございます。
各種材料をお持ち込み頂いてのテスト評価に是非ご利用下さい。

     リフトオフ装置外観


リフトオフチャンバー
高圧ジェットは1.5~14.7MPa
の範囲で調整可能です。



オプション

 角型基板など特殊サイズも対応可能です。



  その他、是非ご相談ください

 


物質・材料研究機構様(NIMS)様にて
当社のリフトオフ装置をご利用頂けます。
詳細は下記URLをご参照下さい。 
http://www.nims.go.jp/index.html


バッチ式 搬送機構 ロボット搬送 300mm対応 お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778

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