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枚葉スピンナ洗浄ユニット付 新製品
自動縦型両面スクラブ洗浄装置   

<基本コンセプト>

○ 高スループット(60枚/H)な縦型両面スクラブ機能と
   ファイナル洗浄・乾燥として枚葉スピンナーが一体となった装置です。

○ コンパクト設計で省フットプリントです。
   2500W×1700D×2000H 



○ ローダ、アンローダは各4カセット置きです。(100枚セット)

○ 洗剤の原液タンク20L 2本を装置内に収納します。
   洗剤原液は配管内で純水とミキシングし、所定の濃度に希釈します。

○ レシピは100ステップ60種類保存可能です。
   回転数、加速・減速時間、処理時間など
   タッチパネルの数値入力で簡単に設定出来ます。

○ 自動サイズ切り替えにより、2種類のワークサイズに対応します。

○  ブラシの押し当て量はタッチパネルで0.1mm単位で可変できます。

○ ブラシ回転数、ウエハ回転数はタッチパネルで数値設定出来ます。



現在、縦型両面スクラブのデモ機は準備中です。
    


縦型両面スクラブにより、
効率良くパーティクルを除去します



スクラブ洗浄後、スピンチャンバーで
ファイナル洗浄・スピン乾燥を行います。



オプション

○ スクラブで使用する洗剤は、インラインで加熱させる事も可能です。 

○ 枚葉式スピンナーにてRCA洗浄を行う事も可能です。
  (有機物除去、メタル汚染の除去、酸化膜除去など)


  その他、是非ご相談ください

 




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