KMX 株式会社カナメックス

会社案内 製品案内 デモ・実験設備 カタログ サイトマップ

>製品案内へ戻る

ウエハ/フォトマスク 研究開発・製造用 マルチプロセッサー

マルチプロセッサー外観     マルチプロセッサー
チャック交換で各基板サイズに対応
 
  ウエハ/フォトマスク マルチプロセッサー  特 徴

■ 圧倒的な省フットプリントを実現。(エキシマUV、塗布、ベーク、現像、エッチング、剥離、洗浄が1台で行えます。)

■ 各種薬液のの追加・変更やレシピの変更が容易。(R&D、少量多品種の生産にも最適)

■ スピンテーブルの交換でウエハ/マスクサイズ切替可能

■ 各スピンチャンバーは脱着が容易な構造(取り外して外部で洗浄も可能です

処理イメージ

<標準仕様>
メガソニック スクラバー
純水や界面活性剤を使った
ブラシスクラブとメガソニックノズルを主体とした洗浄


スペーサー <機能強化 1>
APM 高圧ジェット
硫酸過水、APM、DHF等、各種ケミカル洗浄や
ハイプレッシャー(15MPa)ノズル、2流体(N2ガス+純水)ノズル、
その他特殊ノズルとの組み合わせによる洗浄


<機能強化 2>
エキシマUV 表面改質
エキシマUV等との組み合わせによる表面改質洗浄
スペーサー <機能強化 3>
薬液供給、回収ユニット 薬液供給ユニット
温純水、オゾン水、水素水、アルカリ電解水、
各種ケミカル供給ユニット、CO2バブラー等の単独ユニットの
レトロフィット組み込みによる洗浄機能の増強




>製品案内へ戻る





   お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー


バッチ処理装置 反転機構 搬送ロボット 300mmウエハ お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778

メールアドレス

(C)2005 KANAMEX co.,ltd. 株式会社カナメックス