KMX 株式会社カナメックス

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MEMS用 ウェット処理装置/ドライ処理装置

MEMSデバイスの研究開発や生産用に
お客様のニーズに合わせた装置設計、プロセスのご提案を行っております。

当社のデモ評価用実験機でお客様と共にプロセスの確認を行います。

  製品ラインナップ

スピン洗浄装置


コンパクトスピン 両面スクラバー

MEMSマスク洗浄
ウエハ洗浄



CMP後洗浄装置

スクラバー

ブラシスクラブ
2流体洗浄
メガソニック

各種ケミカル


塗布装置

スピンコーター

スピンコーター
スプレーコーター
コーターデベロッパー

裏面塗布装置


現像装置


溶剤リンスクリーナー

スプレー現像
パドル現像



異方性エッチング装置

回転エッチング装置

回転揺動エッチング
KOH、TMAH



枚葉メタルエッチング装置


スピンエッチャー

Au、Al、Cr、Ni
各種ウェットエッチング


マニュアルエッチング装置


マニュアルドラフト

浸漬エッチング
SiO2エッチング
Siエッチング


枚葉メタルリフトオフ装置

リフトオフ装置

メタル回収機構
高圧リフトオフ
薬液リサイクル


その他のラインナップ

 IPAベーパー乾燥装置

 エキシマUV照射装置(表面改質、レジスト残渣除去)

 WSS(ウエハーサポートシステム)洗浄装置



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   お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー、スピンコーターを備えています。


バッチ処理装置 反転機構 搬送ロボット 300mmウエハ お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778

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