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MEMS用　ウェット処理装置／ドライ処理装置 MEMSデバイスの研究開発や生産用に お客様のニーズに合わせた装置設計、プロセスのご提案を行っております。 当社のデモ評価用実験機でお客様と共にプロセスの確認を行います。
製品ラインナップ
スピン洗浄装置 　 MEMSマスク洗浄 ウエハ洗浄	CMP後洗浄装置 ブラシスクラブ 2流体洗浄 メガソニック 各種ケミカル	塗布装置 スピンコーター スプレーコーター コーターデベロッパー 裏面塗布装置	現像装置 スプレー現像 パドル現像
異方性エッチング装置 回転揺動エッチング KOH、TMAH	枚葉メタルエッチング装置 Au、Al、Cr、Ni 各種ウェットエッチング	マニュアルエッチング装置 浸漬エッチング SiO2エッチング Siエッチング	枚葉メタルリフトオフ装置 メタル回収機構 高圧リフトオフ 薬液リサイクル
その他のラインナップ 　ブラシ両面スクラブ洗浄装置 　IPAベーパー乾燥装置 　エキシマUV照射装置（表面改質、レジスト残渣除去） 　大気圧プラズマ照射装置 　ＷＳＳ(ウエハーサポートシステム)洗浄装置 　極薄ウエハ　ハンドリングツール 　（ドイツ PROTEC社　静電チャックユニット） ＞製品案内へ戻る

　　　お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー、スピンコーターを備えています。

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				ＴＥＬ　 046-270-7373 　ＦＡＸ　 046-270-7778

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