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IPA蒸気乾燥装置


VD-200CBT IPAベーパー

装置概要
基板が収納されたカセットをエレベータにて
自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。

凝結したIPAは回収タンクへ回収します。

保安装置
CO2ガスによる自動消火システムを装備。
また、ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、
設定値を超えると警報を発し、ヒーター電源を切ります。

IPAの供給/廃液
内蔵されたキャニスターにより、
IPAの自動供給を行います。
ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで受け、
廃液温度が設定値以下になると回収タンクへポンプで送られます。



仕 様
ワークサイズ

ウエハ 4in〜 8in 
マスク 5in 〜 □9in
本体寸法 1400W×1100D×2000H
※ その他 特殊ワークサイズにも対応可能です。 

VD-200CBT  IPAベーパー


VD-200CB IPAベーパー

装置概要
基板が収納されたカセットをエレベータにて
自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。

凝結したIPAは回収タンクへ回収します。

保安装置
CO2ガスによる自動消火システムを装備。
また、ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、
設定値を超えると警報を発し、ヒーター電源を切ります。

IPAの供給/廃液
工場側ラインよりIPAを供給します。
ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで受け、
廃液温度が設定値以下になると回収タンクへポンプで送られます。



仕 様
ワークサイズ

ウエハ 4in〜 8in
マスク 5in 〜 □8in
本体寸法 1000W×1200D×2100H
※ その他 特殊ワークサイズにも対応可能です。 

VD-200CB  IPAベーパー