VD-200CBT ＩＰＡベーパー
装置概要
基板が収納されたカセットをエレベータにて
自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。
凝結したIPAは回収タンクへ回収します。
保安装置
CO2ガスによる自動消火システムを装備。
また、ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、
設定値を超えると警報を発し、ヒーター電源を切ります。
IPAの供給/廃液
内蔵されたキャニスターにより、
IPAの自動供給を行います。
ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで受け、
廃液温度が設定値以下になると回収タンクへポンプで送られます。
仕 様
ワークサイズ
ウエハ 4in〜 8in
マスク 5in 〜 □9in本体寸法 1400W×1100D×2000H ※ その他 特殊ワークサイズにも対応可能です。
