研究開発＆少量生産向け
　拡張型スピンプロセッサー

半導体前工程／先端実装／MEMS／ＦＰＤ分野におけるフォトリソグラフィ関連等の
ウエットプロセス装置の設計製作を致します。

レジストコート

現像

エッチング

剥離

洗浄

2010年　5月　　　 Kシリーズ　SiC用洗浄装置　リリース 2009年 12月4日　セミコンジャパン2009ご来場有難うございました。 2009年　9月16日　半導体産業新聞の洗浄装置特集に記事が掲載されました。 2009年 3月21日　研究開発＆少量生産向け　拡張型スピンプロセッサー　リリース 2008年 12月8日　セミコンジャパン2008ご来場有難うございました。 2008年 9月24日　半導体産業新聞に記事が掲載されました。 2008年 7月11日　日本経済新聞に記事が掲載されました。

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