KMX 株式会社カナメックス

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中・大型 有機EL 液晶用パネル・マスク製造装置

お客様のニーズに合わせた装置設計、プロセスのご提案を行っております。

  製品ラインナップ

中型基板用スピンナー


MSC-600
角型基板洗浄


有機EL基板、FPD基板、マスク
現像、エッチング、剥離、洗浄用
□510㎜×610㎜(MAX)


大型マスク用スピンナー


MSC-1000
中型基板洗浄装置


第6世代対応
現像、エッチング、剥離、洗浄

□800㎜×920㎜(MAX)


超大型マスク用スピンナー


MSC-1500

大型マスク洗浄装置

第8世代対応
現像、エッチング、剥離、洗浄

□1220㎜×1400㎜(MAX)


中・大型基板用ディップ装置

MCB-1000
超音波洗浄

有機EL基板
液晶用マスク
エッチング、剥離、洗浄

□800㎜×920㎜(MAX)

中型基板用スピン塗布装置

MSRC-600
大型基板スピンコーター

□510㎜×610㎜(MAX)
※デモ可能

  
  G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置  MSC-1500

AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する
大型マスク洗浄装置です。
反転機構により両面洗浄も可能です。

大型マスク洗浄装置


<対応マスク>
 □1500×1300㎜(MAX) 

<搬送機能>
 トラバーサ 1機

<処理機能>
 マスク反転機構付
 ケミカルアーム×1本
 ブラシアーム×1本
 メガソニックアーム×1本
 リンスノズル 表裏面
 N2ガスブロー 表裏面
 スピン乾燥

レシピ20種類 30ステップ
シーケンサコントロール
  アプリケーション

■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応

■ レジスト残渣/有機物残渣の剥離洗浄

■ 金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄

■ 固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄

■ 受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄(成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、バックグラインド後など)
   パーティクル除去、ファイナル洗浄

■ 表面改質洗浄

■ ベベル、端面洗浄など


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   お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー


バッチ式 マスク反転 ウエハ搬送 300mmウエハ お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778

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