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中・大型　有機EL　液晶用パネル・マスク製造装置 お客様のニーズに合わせた装置設計、プロセスのご提案を行っております。
製品ラインナップ
中型基板用スピンナー MSC-600 有機EL基板、FPD基板、マスク 現像、エッチング、剥離、洗浄用 □510㎜×610㎜(MAX)	大型マスク用スピンナー MSC-1000 第6世代対応 現像、エッチング、剥離、洗浄 □800㎜×920㎜(MAX)	超大型マスク用スピンナー MSC-1500 第8世代対応 現像、エッチング、剥離、洗浄 □1220㎜×1400㎜(MAX)
中・大型基板用ディップ装置 MCB-1000 有機EL基板 液晶用マスク エッチング、剥離、洗浄 □800㎜×920㎜(MAX)	中型基板用スピン塗布装置 MSRC-600 □510㎜×610㎜(MAX) ※デモ可能
G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　　MSC-1500 AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する 大型マスク洗浄装置です。 反転機構により両面洗浄も可能です。 <対応マスク> 　□1500×1300㎜(MAX)　 <搬送機能> 　トラバーサ　1機 <処理機能> 　マスク反転機構付 　ケミカルアーム×１本 　ブラシアーム×1本 　メガソニックアーム×1本 　リンスノズル　表裏面 　N2ガスブロー 表裏面 　スピン乾燥 レシピ20種類　30ステップ シーケンサコントロール 　　アプリケーション ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■　レジスト残渣／有機物残渣の剥離洗浄 ■　金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■　固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■　受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄（成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、バックグラインド後など） 　　　パーティクル除去、ファイナル洗浄 ■　表面改質洗浄 ■　ベベル、端面洗浄など ＞製品案内へ戻る

　　　お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー

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