KMX 株式会社カナメックス

会社案内 製品案内 デモ・実験設備 カタログ サイトマップ

>製品案内へ戻る

多槽式ウエット処理装置

お客様のニーズに合わせた装置設計、プロセスのご提案を行っております。
カセットレス、枚葉処理、回転揺動など特殊仕様も製作可能です。


  製品ラインナップ

RCA洗浄装置




SC-1、HF、SC-2、
乾燥(IPAベーパ、スピン)
φ2~8"
※カセットレスも可能


レジスト剥離装置



SPM剥離
有機溶剤剥離
φ2~8"、□4~9"
※カセットレスも可能


研磨後洗浄装置



DHF、NaOH
水中ローダ-
超音波洗浄
φ2~8"、□4~9"

メタルエッチング装置




Au、Al、Cr、Cu、Ni
水中ローダ-
薬液循環、濃度管理
φ2~8"、□4~9"


その他エッチング装置



窒化膜エッチング
酸化膜エッチング
Siエッチング



マニュアルタイプ



エッチング、剥離、洗浄


その他特殊仕様も設計・製作可能です。





>製品案内へ戻る





   お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー、スピンコーターを備えています。


お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778


(C)2005 KANAMEX co.,ltd. 株式会社カナメックス