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多槽式ウエット処理装置 お客様のニーズに合わせた装置設計、プロセスのご提案を行っております。 カセットレス、枚葉処理、回転揺動など特殊仕様も製作可能です。
製品ラインナップ
RCA洗浄装置 SC-1、HF、SC-2、 乾燥(IPAベーパ、スピン） φ2～8" ※カセットレスも可能	レジスト剥離装置 SPM剥離 有機溶剤剥離 φ2～8"、□4～9" ※カセットレスも可能	研磨後洗浄装置 DHF、NaOH 水中ローダ- 超音波洗浄 φ2～8"、□4～9"	メタルエッチング装置 Au、Al、Cr、Cu、Ni 水中ローダ- 薬液循環、濃度管理 φ2～8"、□4～9"
その他エッチング装置 窒化膜エッチング 酸化膜エッチング Siエッチング	マニュアルタイプ エッチング、剥離、洗浄
その他特殊仕様も設計・製作可能です。 ＞製品案内へ戻る

　　　お客様との実験・評価用に枚葉スピンプロセッサー、スピンコーターを備えています。

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