KMX 株式会社カナメックス

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工場内にクリーンルーム(CLASS 1000)と純水供給ユニット、排気スクラバー、
ウエットプロセスのデモ評価・実験用のスピンプロセッサー、スピンコーター及び
MAX□600mmの基板まで対応可能なインナーカップ方式のスピンコーターを保有。
塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスをケミカルや純水を用いてテスト可能です。


保有設備
プロセス装置
<テスト機@、A 枚葉スピンプロセッサー>


スピンコーター
<テスト機B 多目的スピンコーター>


<検査ツール>
ゴミ検査装置WM-3
トプコン製 ウエハ用ゴミ検査装置  WM-3
φ4″,φ6″対応 


顕微鏡、集光ランプ
・ニコン製 1000倍顕微鏡
・40万lux 集光ランプ



大型スピンコーター
<テスト機C 大型スピンコーター>
□600mm基板対応

大型ホットプレート
<□600mm用 ホットプレート>


 クリーンルーム  (CLASS 1000)
  ※グレーチングエリアはCLASS100相当

■ 超純水装置 オルガノ製 
  (比抵抗値 17MΩ  10L/min)

 テスト機@ 枚葉スピンプロセッサー(酸・アルカリ用)
 KP-300
機 能 ブラシスクラブ
メガソニックノズル(1MHz)
2流体ジェットノズル(純水+N2)
ケミカルノズル
リンスノズル(表裏面)
チャック ピン方式/バキューム方式/ベルヌーイチャック方式
対応基板 φ2”〜φ12”  □3”〜□9”
その他特殊サイズも可
   
 テスト機A 枚葉スピンプロセッサー(有機溶剤用)
 KP-300S
機 能 高圧ジェットノズル(3〜15MPa)
ケミカルノズル(MAX 80℃)
リンスノズル(表裏面)
チャック ピン方式/バキューム方式/ベルヌーイチャック方式
対応基板 φ2”〜φ12”  □3”〜□9” 
その他特殊サイズも可
   
 テスト機B  スピンコーター 
 KRC-300
機 能 シリンジ塗布ノズル
エッジリンス
バックリンス
チャック バキューム方式/裏面外周保持式/インナーカップ方式
対応基板 φ2”〜φ12”  □3”〜□9” 
その他特殊サイズも可

 テスト機C スピンコーター(インナーカップ方式)
対応基板 MAX □600mm

特殊サイズはご相談下さい


 現像液、エッチング液 恒温化ユニット  1台

 廃液回収設備有り

 排気スクラバー 2機


新宿より小田急小田原線で50分です。
お客様のミニラボとして機能できるよう、
各種デモ機を取り揃えております。

→ アクセスマップ


デモ可能プロセス一例


現 像 有機アルカリ
無機アルカリ
エッチング アルカリ SC-1 TMAH KOH NH4OH
BHF フッ酸 リン酸 フッ硝酸
剥 離  アルカリ アルカリ剥離液
硫酸過水
 有機 NMP   各種剥離液    
洗 浄  アルカリ SC-1 NaOH KOH NH4OH
硫酸過水 SC-2 DHF 塩酸
メガソニック アルカリ系洗剤 酸系洗剤 純水 温純水
ブラシスクラブ アルカリ系洗剤 酸系洗剤 純水
2流体ジェット 純水+N2
 ハイプレッシャー  純水 IPA     
塗 布 レジスト
ポリイミド
リフトオフ ハイプレッシャー IPA NMP アセトン

※その他の薬液、プロセスご相談下さい。




スピン方式の特徴

従来のディップ式とは異なり、省薬液,省スペースのメリットがあります。

その他、種々の物理化学的な処理方式が選択可能 であり、

また、遠心力による溶解汚染物
/粒子の除去効率の向上 等があります。


スピン方式をご検討の際には是非、弊社デモをご活用下さい。 
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 FAX  046-270-7778

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