工場内のクリーンルーム（CLASS　1000）に純水供給ユニット、排気スクラバー、
ウエットプロセスのデモ評価・実験用のスピンプロセッサー及び
MAX24×28インチの基板まで対応可能なインナーカップ方式のスピンコーターを保有。
塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスをケミカルや純水を用いてテスト可能です。

＜保有設備＞ ＜テスト機�@　枚葉スピンプロセッサー＞ ＜テスト機�A　大型スピンコーター＞ ＜薬液供給ユニット＞	■　クリーンルーム　　（CLASS　1000） ■　純水装置　　（比抵抗値　8MΩ　　5Ｌ／ｍｉｎ） ■　テスト機�@　枚葉スピンプロセッサー 型　式 WSC-A300W（2チャンバー） 機　能 ブラシスクラブ メガソニックノズル（1MＨｚ、3MＨｚ） 2流体ジェットノズル（純水＋N2） ハイプレッシャーノズル ケミカルノズル リンスノズル（表裏面） チャック ピン方式／バキューム方式 対応基板 φ2”〜φ12”　　□3”〜□9” ■　テスト機�A　スピンコーター(インナーカップ方式) 対応基板 MAX 24×28″ ■　現像液、エッチング液　恒温化ユニット　　1台 ■　廃液回収設備有り ■　排気スクラバー　2機
デモ可能プロセス一例 現　像 有機アルカリ 無機アルカリ エッチング アルカリ SC-1 TMAH KOH NH4OH 酸 BHF フッ酸 リン酸 硝酸 剥　離 アルカリ アルカリ剥離液 酸 硫酸過水 洗　浄 アルカリ SC-1 NaOH KOH NH4OH 酸 硫酸過水 SC-2 DHF 塩酸 メガソニック アルカリ系洗剤 酸系洗剤 純水 温純水 ブラシスクラブ アルカリ系洗剤 酸系洗剤 純水 2流体ジェット 純水＋N2 塗　布 レジスト ポリイミド リフトオフ ハイプレッシャー IPA NMP アセトン ※その他の薬液、プロセスご相談下さい。

スピン方式の特徴 従来のディップ式とは異なり、省薬液,省スペースのメリットがあります。 その他、種々の物理化学的な処理方式が選択可能 であり、 また、遠心力による溶解汚染物/粒子の除去効率の向上 等があります。 スピン方式をご検討の際には是非、弊社デモをご活用下さい。

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