KMX 株式会社カナメックス

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インナーカップ式 大型角基板対応
スピンコータ・ベーク
装置
 □500㎜対応   

<基本コンセプト>

○ 基板のセット・取り出しは人手もしくは
   専用治具にておこなう手動搬送タイプのスピンコータです。

○ コンパクト設計で省フットプリントです。
   2000W×1200D×2300H (ベーク付き)
  コータ外形図

○ 自動でレジストを滴下するディスペンサー付です。
   塗布量を正確にコントロール出来ます。

○ レシピは60ステップ40種類保存可能です。
   回転数、加速・減速時間、処理時間など
   タッチパネルの数値入力で簡単に設定出来ます。

○ 膜厚の面内バラつき3%以内を達成可能です。

○ チャック交換によりワークサイズ簡単切替
   ウエハ用の治具もご用意しております。

○  高性能なホットプレート付です。
   プロキシミティギャップ方式にて、
   面内温度分布は200℃レンジ3℃以内です。

○  レジスト供給ユニット、廃液回収ユニット付。

○ チャンバークリーニングや
  基板の簡易洗浄用にシンナー塗布機能が付いております。

○ チャンバー内はレジストの固着防止コーティングがされております。



弊社工場に24×28″まで対応可能なデモ機がございます。
各種材料をお持ち込み頂いてのテスト評価に是非ご利用下さい。

    
500角コータ外観

コーターチャンバー
塗布チャンバー


ディスペンサー
ディスペンサー


ホットプレート
ホットプレート



オプション

 □500㎜以上のサイズも製作可能です。
 
 現像ユニットもご用意しております。

 ロボットによる自動搬送タイプもご用意しております。


  その他、是非ご相談ください

 




バッチ式 マスク反転 ロボット搬送 300mmウエハ お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778

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