Ｋシリーズ　 　枚葉式スピンエッチング装置　　KE-150/200/300/450
KE-200 標準タイプ	KE-A200 自動搬送タイプ カセットtoカセット	KE-A200（4ローダ） 自動搬送、基板反転機構付 4カセット仕様

エッチング　ツール　一例

	1流体スプレー		２流体スプレー （窒素＋ケミカル）
	有機物除去洗浄 （SPM）		エッチング液 リサイクル		表面改質による濡れ性向上 （エキシマUV＋ウェット）

○　処理アーム（スイング機構付）は最大2本装備可能。
　　※組合せは自由に選択出来ます


○　対応ワークサイズ
　　　ウエハφ2″～φ12″　　マスク□4″～□9″
　　　※その他特殊サイズも可能


○　ワークサイズの切替は工具不要、3分以内で交換可能。


○　裏面リンス、裏面N2ブロー付。


○　チャンバーは着脱が容易な構造でメンテナンス性に優れています。


○　後付けで各種洗浄機能を追加出来ます。

組み合わせ例

	ブラシ＋2流体 受け入れ洗浄 研磨後洗浄		SC-1＋メガソニック パーティクル除去洗浄		SPM＋温純水 マスク洗浄 有機物除去洗浄
	2カセット仕様		4カセット仕様		2チャンバー仕様

アプリケーション一例