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エッチング ツール 一例
○ 処理アーム(スイング機構付)は最大2本装備可能。 組み合わせ例
アプリケーション一例ウエハ/マスク洗浄(有機物除去、パーティクル除去、付着物除去 等)各種工程間洗浄(CMP後洗浄、バックグラインド後洗浄、ダイシング後洗浄 等) MEMS用途 WLCSP用途 化合物半導体用途(GaAs、InP、SiC 等) ディスク・スタンパー・ナノインプリント用途 その他、是非ご相談ください |
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