KMX 株式会社カナメックス

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Kシリーズ 

 
枚葉式スピン洗浄装置  KC-150/200/300/450
手動タイプ  自動タイプ 4カセット置き
KC-200
標準タイプ
KC-A200
自動搬送タイプ
カセットtoカセット
KC-A200(4ローダ)
自動搬送、基板反転機構付
4カセット仕様

洗浄ツール 一例

スクラバー
スクラバー
(ナイロン又はスポンジ)
メガソニック洗浄
超音波洗浄
(メガソニック)
2流体洗浄
2流体洗浄
(窒素+純水/ケミカル)
SPM硫酸過水
有機物除去洗浄
(SPM)
RCA洗浄
枚葉式RCA洗浄
(DHF、SC-2、SC-1)
エキシマUVランプ
ドライ組合せ洗浄
(エキシマUV+ウエット処理)

処理イメージ

○ 処理アーム(スイング機構付)は最大2本装備可能。
  ※組合せは自由に選択出来ます


○ 対応ワークサイズ
   ウエハφ2″~φ12″  マスク□4″~□9″
   ※その他特殊サイズも可能


○ ワークサイズの切替は工具不要、3分以内で交換可能。


○ 裏面リンス、裏面N2ブロー付。


○ チャンバーは着脱が容易な構造でメンテナンス性に優れています。


○ 後付けで各種洗浄機能を追加出来ます。



組み合わせ例

マニュアルタイプ
ブラシ+2流体

受け入れ洗浄
研磨後洗浄

マニュアルタイプ
SC-1+メガソニック

パーティクル除去洗浄

温水ユニット付き
SPM+温純水

マスク洗浄
有機物除去洗浄
自動タイプ

2カセット仕様
4カセット置き

4カセット仕様
2チャンバー

2チャンバー仕様


アプリケーション一例

  ウエハ/マスク洗浄(有機物除去、パーティクル除去、付着物除去 等)
  各種工程間洗浄(CMP後洗浄、バックグラインド後洗浄、ダイシング後洗浄 等)
  MEMS用途
  WLCSP用途
  化合物半導体用途(GaAs、InP、SiC 等)
  ディスク・スタンパー・ナノインプリント用途
  
  その他、是非ご相談ください
 




バッチ式 反転機構 ロボット搬送 300mmウエハ お問い合わせ
 TEL  046-270-7373
 FAX  046-270-7778

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